TH-EGI-300

TH-EGI-300

概要
TH-EGI-300は200mmまたは300mmの極薄ウェハのエッジを検査するユニットです。
  • ウェハエッジを検査し、検出した欠陥位置をノッチ基準で記録・報告します
  • 欠陥分布の図示と記録画像によるレビュー機能により、画像による検出結果の確認と検出条件の調整が可能です
  • 弊社製検査ステージの他、プリアライナーとのセット販売も承ります
  • 既存の装置への導入を目的とした、センサー+制御ユニットの単体販売が可能です
    • 既存装置への導入では、上位コンピュータシステムとの通信を、TCP/IP,RS232/422などから柔軟に構成することができます
正常なエッジレポートの例



欠陥エッジレポートの例(5μmを超える深さの欠陥を検出するようにパラメータ設定をした際の結果画像例)




製品仕様(弊社製測定ユニット)
構成 センサーユニット:カメラ, レンズ, 照明一体型
制御ユニット: PC (Windows7), 照明コントローラ, モーションコントローラ
検査ステージ: 200/300mmウェハ対応検査ステージ
性能 最小欠陥サイズ : 1.5μm以上
欠陥位置精度: ±0.02°
測定時間: 36sec/枚(300mmウェハ), 24sec/枚(200mmウェハ)
外部インタフェース 入力:負圧源
環境仕様 動作温度範囲 0∼30℃
動作湿度範囲 10∼90%(但し結露無きこと)
電気仕様 電源 AC100V Max.2.5A(PCを含む)
外寸 センサーユニット: W102×D55×H205,  検査ステージ: W450×D180×H390
質量 センサーユニット:1kg, 検査ステージ:10kg
オプション ・上位コンピュータ通信(TCP/IP、RS232/422など)
・弊社製プリアライナーとの組み合わせ
・IRバックライトによる、ウェハ内部のマイクロクラック検出
 
お客様装置への組込みについては、ご相談を承ります。
上記の仕様は,予告なく変更することがあります。


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  TH-EGI-300カタログ
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