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概要 |
TH-EGI-300は200mmまたは300mmの極薄ウェハのエッジを検査するユニットです。 |
- ウェハエッジを検査し、検出した欠陥位置をノッチ基準で記録・報告します
- 欠陥分布の図示と記録画像によるレビュー機能により、画像による検出結果の確認と検出条件の調整が可能です
- 弊社製検査ステージの他、プリアライナーとのセット販売も承ります
- 既存の装置への導入を目的とした、センサー+制御ユニットの単体販売が可能です
- 既存装置への導入では、上位コンピュータシステムとの通信を、TCP/IP,RS232/422などから柔軟に構成することができます
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正常なエッジレポートの例
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欠陥エッジレポートの例(5μmを超える深さの欠陥を検出するようにパラメータ設定をした際の結果画像例)
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製品仕様(弊社製測定ユニット) |
構成 |
センサーユニット:カメラ, レンズ, 照明一体型
制御ユニット: PC (Windows7), 照明コントローラ, モーションコントローラ
検査ステージ: 200/300mmウェハ対応検査ステージ
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性能 |
最小欠陥サイズ : 1.5μm以上
欠陥位置精度: ±0.02°
測定時間: 36sec/枚(300mmウェハ), 24sec/枚(200mmウェハ)
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外部インタフェース |
入力:負圧源
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環境仕様 |
動作温度範囲 |
0∼30℃ |
動作湿度範囲 |
10∼90%(但し結露無きこと) |
電気仕様 |
電源 |
AC100V Max.2.5A(PCを含む) |
外寸 |
センサーユニット: W102×D55×H205,
検査ステージ: W450×D180×H390
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質量 |
センサーユニット:1kg, 検査ステージ:10kg
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オプション |
・上位コンピュータ通信(TCP/IP、RS232/422など)
・弊社製プリアライナーとの組み合わせ
・IRバックライトによる、ウェハ内部のマイクロクラック検出
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お客様装置への組込みについては、ご相談を承ります。
上記の仕様は,予告なく変更することがあります。 |