シートを貼りあわせるためのアライメント

2枚のシートの貼り合わせ装置のアライメントを目的とします。上下2枚のシートにはアライメント用のマークがつけられます。上側シートは固定され、下側シートは移動・回転可能なテーブルの上に載せられます(図4)。

図4.シートを貼り合わるためのアライメント
図4.シートを貼り合わるためのアライメント

上側シート、下側シートそれぞれのアライメントマークをサーチして位置を求めます。下側シートのアライメントマーク位置を座標変換することで上側シートのアライメントマーク位置になるように回転角度と平行移動を求め、下側シートの載ったテーブルを得られた回転・平行移動させることでアライメントを行います。一般的には上側シートと下側シートのアライメントマークの位置は一致しません(測定誤差、シートの伸び等)。そのため最小二乗法で、上側シートと下側シートのアライメントマーク位置の差異を分配します。貼り合わせ前にアライメントされた位置を確認します(下側シートのみ)。

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