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顕微鏡を用いた3次元画像認識装置 特許第3855244号
【課題】 対象物の3次元的な特徴を定量認識することができる顕微鏡を用いた3次元画像認識装置を提供する。
【解決手段】 XYステージ上に固定された検査対象物を左右2方向から顕微鏡を介してCCDカメラによって撮像し、左右の画像データを取り込み、対象物の所定位置が左右の画像データ上のどの位置に投影されるかを検出する。そして、この投影された位置から対象物の前記所定位置の3次元座標を算出する。尚、測定を行う前に、顕微鏡光学系の幾何学的な位置を精度良く標定する必要があるが、本発明では、理想平面の対象物に精度良く寸法が設定されている格子縞を投影してこの格子縞をそれぞれのCCDカメラで撮像し、この格子点の画像上の位置を測定する。そして、このこの格子点の画像上の位置と、対象物上の格子点の3次元座標とから標定要素を決定する。

ボールグリッドアレイのボール高さ計測方法 特許第3897203号
【課題】 ボールグリッドアレイのボール高さ計測時間を大幅に短縮するボールグリッドアレイのボール高さ計測方法を提供する。
【解決手段】 ボールグリッドアレイ基板を円筒状の発光面を有する円筒状面発光照明装置によって照明し、その画像データをステレオ光学系の撮像装置によって取得する。そして、この取得した画像データ内に含まれる各ボールの高さを画像処理によって算出する。これにより、1度の撮像で多数のボール高さ計測を同時に行うことができる。

ステレオ光学系を用いた測定方法及び測定装置 特許第3915033号
【課題】 対象物の高さ測定をする際に、従来のオートフォーカスを用いた場合の比較として、処理時間を低減するとともに、高さの測定可能範囲を拡大する。
【解決手段】 高さ測定すべき対象物を正対する方向及び斜め方向から撮像する。対象物の斜め画像データは、その画像データに写されたパターンの形状が、対象物の正対画像データに写されたパターンの形状と相似するように、変換する。そして、正対画像データ上の特定の点の位置と、変換して得られた画像データ上の特定の点の位置との差分を検出する。このように検出された位置の差分は、対象物の高さに応じた値を持つ。この位置の差分に基づいて、対象物の高さを検出する。したがって、光学系と対象物との間の距離の変動を必要とするオートフォーカスを用いた場合と比較して、処理時間を削減することができるとともに、光学系の被写界深度を深くして高さの測定可能範囲を拡大することができる。

対象物のアライメント方法 特許第4037947号
【課題】 ウェーハやチップ等の対象物の精密アライメントにおいて、アライメント精度に影響を及ぼす装置固有のY軸精度の影響を除去し、精度確認のプロセスを簡単化して処理時間の短縮を図る対象物のアライメント方法を提供する。
【解決手段】 ウェーハのアライメント装置は、粗アライメントを実行した後、ウェーハ上で撮像手段をX軸方向(左右方向)のみに移動させてウェーハの左側と右側のターゲットパターン位置を画像データ上で検出する。そして、これらのターゲットパターン位置に基づいてウェーハの補正角を求め、ウェーハを回転させて角度補正を行う。この後、角度補正の精度確認のプロセスにおいても撮像手段を移動させずに画像データを取得し、この画像データの範囲内で左側又は右側のターゲットパターン位置の検出を行い、このターゲットパターン位置が計算で求めた角度補正後の位置に移動したかを確認し、精密アライメントを終了する。

デバイスチップ位置測定方法 特許第4384899号
【課題】 WLCSPプロセス等において、ダイサによって個片化されてダイシングテープ上に並べられた複数のデバイスチップのそれぞれの位置を測定する。
【解決手段】 CSPプローバ測定部、CSPプローバ制御部、及びデバイスチップ位置測定方法を実現するデバイスチップ位置測定システムを内装させたデバイスチップ位置制御装置を具えて、CSPプローバを構築する。測定部はマルチサイトテスティングを行なう。CSPプローバ制御装置は、測定部に、デバイスチップのデバイス電極への接触あるいはデバイス電極からの離脱の指示を与える。デバイスチップ位置制御装置は、デバイスチップの位置等の情報をカメラから取得して、初期測定領域分割ステップ、画像処理ステップ、検定ステップ、再分割ステップ、座標管理ステップ及び別基準測定点選定ステップを含む処理を実行する。

画像変換方法および画像変換装置 特開2004-199331
【課題】 検査対象物等の撮像対象物を斜め上方から撮像し、撮像された画像データを撮像対象物の真上から撮像される画像データに変換する。
【解決手段】 撮像対象物を斜め方向から撮像して得られる画像データを、真上方向から撮像して得られる画像データに変換する画像変換方法において、座標変換工程と、再サンプリング工程とを具える。座標変換工程は、斜め画像が投影された受光平面上の位置を確定するための平面座標と、真上画像が投影される受光平面上の位置を確定するための平面座標との関係を定める工程である。再サンプリング工程は、真上画像データを構成する1画素の光強度情報を、斜め画像データを構成する複数の画素の光情報から、重み付けをして積算して求めるプロセスである。この重み付けは、斜め画像データを構成する画素上に真上画像データを構成する1画素が重なって投影されるその重なりの面積によって行なう。

画像データ作成方法 特開2006-338167
【課題】 投影変換に伴う問題点を解決して、パターンマッチングに使用する人工画像モデルを作成すること、特に、3次元測定をするためのステレオ光学系を用いた画像処理システムにおいて問題点が解消され、投影歪みの影響を取り入れた画像モデルを作成できる画像データ作成方法を提供する。
【解決手段】 パターンマッチングのための対象図形の画像データを得る画像データ作成方法である。対象図形及びその周縁の画像を所定位置に設けられた撮像カメラで撮像した際に撮像カメラの結像面に投影される投影画像の画像データを得るために、撮像カメラの撮像位置パラメータを用いて対象図形及びその周縁の画像を結像面上に投影変換し投影変換された画像データを得る。

位置検出方法 特開2007-33070
【課題】 CSP、WLCSPの様にパッケージングされたデバイスに対して、デバイス上の電極部分をモデル画像として使用するパターンマッチングにおいて、正しい位置検出が可能な位置検出方法を提供すること。
【解決手段】 位置検出方法を、単一の対象物のモデル画像を生成する対象物モデル画像生成ステップと、設計データを用いた対象物有無配列パターン画像作成ステップと、対象物位置検出ステップと、撮像対象物配列パターン画像作成ステップと、対象物有無配列パターン画像と撮像対象物配列パターン画像との相関演算を行う相関演算ステップとで構成した。

3次元座標測定装置および方法 特開2007-40801
【課題】 BGA等のように表面に多数の突起物を備えた被測定物を高精度で測定するのに好適な3次元座標測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】 同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、被測定物を載置した試料台の鉛直軸に対して光軸が所定の傾斜角度をなすように設けられる第1の撮像手段と、同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、試料台の鉛直軸に対して光軸が第1の撮像手段の光軸と線対称になるように設けられる第2の撮像手段とを使用し、第1の撮像手段で照明した被測定物表面を第2の撮像手段で撮像し、第2の撮像手段で照明した被測定物表面を第1の撮像手段で撮像し、第1及び第2の撮像手段で撮像した画像より被測定物表面の3次元座標を得る。

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