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破損検出機構 特許6661109
【課題】 回転するスピンドルの先端部分に装着される円形状の回転ブレードは回転中に破損することがあり、これは切削の被加工物を破損させることにつながる。そのためブレードの破損状態を回転中のまま、および切削水が使用されている状態のまま検出することが重要である。このような回転ブレードの破損を光ファイバを用いて検出する既存技術では破損検出の応答性、SN比に改善の余地がある。
【解決手段】 発明の目的は、従来の手法に比べて改善された感度およびSN比で回転ブレードの破損を検出できる破損検出機構を提供することにある。

プロービングステーション 特許6308639
【課題】 半導体ウエハの大口径化に伴って、チップサイズの整数倍の距離を移動する機構と、複数の半導体チップの同時測定を行うにあたって求められる精度及び剛性は、近年飛躍的に高度になっている。従来のプロービングステーションでは、プローブカードが半導体ウエハの中心位置からずれて、すなわちオフセットして、コンタクトすることで生じる垂直方向の偏荷重によるモーメントに対応するため、特別な構成を持ったZ軸か、非常に剛性の高いガイド機構を用いる必要がある。このため、プロービングステーションの設計及び製造は困難さを増してきている。
【解決手段】 発明の目的は、半導体ウエハに形成された全てのチップの電極に、一括コンタクトするための、簡易な構成のプロービングステーションを提供することにある。

ダイシング装置 特許5636066
【課題】 ダイシング装置におけるブレード刃先の位置や寸法の検出には、従来、接触式検出方法か、非接触式検出方法が用いられてきた。しかしながら、接触式検出方法は、ダイシング加工に適するように目立てをされたブレード先端をステージに接触させるために、ブレード刃先の状態を劣化させる恐れがある。このため、非接触式検出方法が所望され、光学式センサを用いてブレード刃先の位置を検出する方法が提案された。しかし、ブレードの刃先はワークの加工中は常に切削水にさらされている。このため、光学式センサを用いる方法では、雫状に付着した切削水の影響で正しいブレード刃先の検出が行われなかったり、センサ部分の汚れで検出エラーを発生したりという問題に悩まされて来た。
【解決手段】 この発明のダイシング装置は、被加工物を保持する保持手段と、ブレードを回転させることにより、被加工物に切削加工を施す切削手段と、ブレードの回転軸に沿った方向に、ブレードから離間して設けられた撮像手段と、ブレードの、撮像手段側の面に、近接斜光照明又は同軸光照明を当てる照明手段とを備えて構成される。更に、好ましくは撮像手段とは反対側の面に、バックライト光を当てるバックライト照明手段か同軸光を反射するコーナープリズムや反射鏡(ミラー)を備えてもよい。

ウェーハ保持具 特許4967078 特許4886909
【課題】 薄く加工されたウェーハを容易に特性試験の実施装置の載荷ステージ面に平坦に装着させるために粘着テープを併用する保持具を使用する。粘着テープは消耗品でありコストがかかり、さらに耐熱温度が低いのでウェーハを高温にする特性試験を行うことに向いていない。
【解決手段】 この発明のウェーハ保持具は、保持フレームと、金属シートと、ウェーハ固定機構を備えている。保持フレームは、リング状に周辺部を残し中空部が設けられている。金属シートは、金属シートと保持フレームの熱膨張の差を吸収する滑り自由度を有して、保持フレームの中空部をふさぐように取り付けられる。
特性試験を300°C等の高温で実施する場合であっても、金属シートが撓むことがないので、高温での特性試験に利用して好適なウェーハ保持具となる。
その上、金属シートを特性試験のたびに新たな金属シートと交換する必要はなく汎用的に使えるので、特性試験回数を繰り返しても新たなコストが発生することはなく、経済性に優れるという効果が得られる。

ダイシング装置 特許4852178
【課題】 現在広く利用されているダイシング装置は、スピンドルを移動させるためのメカニカル機構が複雑であり、しかも製造段階でスピンドル保持機構の動作を調整しつつ製造しなければならずこの調整工程に長時間を要する。このためダイシング装置の製造コストが高くなる。
【解決手段】 ワークテーブル保持機構にZ軸移動機構を組み込むことでスピンドル保持機構に大掛かりな構成を不要とし、装置の重心を低くできることで装置振動を低く抑えることができる。

プローブ方法及びプローブ装置 特許5432551
【課題】 測定対象素子の電気特性を計測するプローブ装置は、反復繰り返し動作において常に十分に高い精度での動作が要求されるため、光学系を支持する機械系の熱膨張や収縮、機械系または光学系移動時の位置ずれ、光学系に取り付けるカメラの画素解像度などを常に正確に補正しておくことが要求される。
【解決手段】 測定対象素子認識光学系あるいは接触電極認識光学系の一方にキャリブレーション用2次元パターンを投影する投影光学系を具え、このキャリブレーション用2次元パターンを測定対象素子認識光学系及び接触電極認識光学系の双方で撮像する構成とすることによって、上述した諸課題が解決される。

3次元座標測定装置および方法 特許4846295
【課題】 BGA等のように表面に多数の突起物を備えた被測定物を高精度で測定するのに好適な3次元座標測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】 同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、被測定物を載置した試料台の鉛直軸に対して光軸が所定の傾斜角度をなすように設けられる第1の撮像手段と、同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、試料台の鉛直軸に対して光軸が第1の撮像手段の光軸と線対称になるように設けられる第2の撮像手段とを使用し、第1の撮像手段で照明した被測定物表面を第2の撮像手段で撮像し、第2の撮像手段で照明した被測定物表面を第1の撮像手段で撮像し、第1及び第2の撮像手段で撮像した画像より被測定物表面の3次元座標を得る。

位置検出方法 特許4706366
【課題】 CSP、WLCSPの様にパッケージングされたデバイスに対して、デバイス上の電極部分をモデル画像として使用するパターンマッチングにおいて、正しい位置検出が可能な位置検出方法を提供すること。
【解決手段】 位置検出方法を、単一の対象物のモデル画像を生成する対象物モデル画像生成ステップと、設計データを用いた対象物有無配列パターン画像作成ステップと、対象物位置検出ステップと、撮像対象物配列パターン画像作成ステップと、対象物有無配列パターン画像と撮像対象物配列パターン画像との相関演算を行う相関演算ステップとで構成した。

画像データ作成方法 特許4548228
【課題】 投影変換に伴う問題点を解決して、パターンマッチングに使用する人工画像モデルを作成すること、特に、3次元測定をするためのステレオ光学系を用いた画像処理システムにおいて問題点が解消され、投影歪みの影響を取り入れた画像モデルを作成できる画像データ作成方法を提供する。
【解決手段】 パターンマッチングのための対象図形の画像データを得る画像データ作成方法である。対象図形及びその周縁の画像を所定位置に設けられた撮像カメラで撮像した際に撮像カメラの結像面に投影される投影画像の画像データを得るために、撮像カメラの撮像位置パラメータを用いて対象図形及びその周縁の画像を結像面上に投影変換し投影変換された画像データを得る。

デバイスチップ位置測定方法 特許4384899
【課題】 WLCSPプロセス等において、ダイサによって個片化されてダイシングテープ上に並べられた複数のデバイスチップのそれぞれの位置を測定する。
【解決手段】 CSPプローバ測定部、CSPプローバ制御部、及びデバイスチップ位置測定方法を実現するデバイスチップ位置測定システムを内装させたデバイスチップ位置制御装置を具えて、CSPプローバを構築する。測定部はマルチサイトテスティングを行なう。CSPプローバ制御装置は、測定部に、デバイスチップのデバイス電極への接触あるいはデバイス電極からの離脱の指示を与える。デバイスチップ位置制御装置は、デバイスチップの位置等の情報をカメラから取得して、初期測定領域分割ステップ、画像処理ステップ、検定ステップ、再分割ステップ、座標管理ステップ及び別基準測定点選定ステップを含む処理を実行する。

ステレオ光学系を用いた測定方法及び測定装置 特許3915033
【課題】 対象物の高さ測定をする際に、従来のオートフォーカスを用いた場合の比較として、処理時間を低減するとともに、高さの測定可能範囲を拡大する。
【解決手段】 高さ測定すべき対象物を正対する方向及び斜め方向から撮像する。対象物の斜め画像データは、その画像データに写されたパターンの形状が、対象物の正対画像データに写されたパターンの形状と相似するように、変換する。そして、正対画像データ上の特定の点の位置と、変換して得られた画像データ上の特定の点の位置との差分を検出する。このように検出された位置の差分は、対象物の高さに応じた値を持つ。この位置の差分に基づいて、対象物の高さを検出する。したがって、光学系と対象物との間の距離の変動を必要とするオートフォーカスを用いた場合と比較して、処理時間を削減することができるとともに、光学系の被写界深度を深くして高さの測定可能範囲を拡大することができる。

画像変換方法および画像変換装置 特許4167482
【課題】 検査対象物等の撮像対象物を斜め上方から撮像し、撮像された画像データを撮像対象物の真上から撮像される画像データに変換する。
【解決手段】 撮像対象物を斜め方向から撮像して得られる画像データを、真上方向から撮像して得られる画像データに変換する画像変換方法において、座標変換工程と、再サンプリング工程とを具える。座標変換工程は、斜め画像が投影された受光平面上の位置を確定するための平面座標と、真上画像が投影される受光平面上の位置を確定するための平面座標との関係を定める工程である。再サンプリング工程は、真上画像データを構成する1画素の光強度情報を、斜め画像データを構成する複数の画素の光情報から、重み付けをして積算して求めるプロセスである。この重み付けは、斜め画像データを構成する画素上に真上画像データを構成する1画素が重なって投影されるその重なりの面積によって行なう。

ボールグリッドアレイのボール高さ計測方法 特許3897203
【課題】 ボールグリッドアレイのボール高さ計測時間を大幅に短縮するボールグリッドアレイのボール高さ計測方法を提供する。
【解決手段】 ボールグリッドアレイ基板を円筒状の発光面を有する円筒状面発光照明装置によって照明し、その画像データをステレオ光学系の撮像装置によって取得する。そして、この取得した画像データ内に含まれる各ボールの高さを画像処理によって算出する。これにより、1度の撮像で多数のボール高さ計測を同時に行うことができる。

対象物のアライメント方法 特許4037947
【課題】 ウェーハやチップ等の対象物の精密アライメントにおいて、アライメント精度に影響を及ぼす装置固有のY軸精度の影響を除去し、精度確認のプロセスを簡単化して処理時間の短縮を図る対象物のアライメント方法を提供する。
【解決手段】 ウェーハのアライメント装置は、粗アライメントを実行した後、ウェーハ上で撮像手段をX軸方向(左右方向)のみに移動させてウェーハの左側と右側のターゲットパターン位置を画像データ上で検出する。そして、これらのターゲットパターン位置に基づいてウェーハの補正角を求め、ウェーハを回転させて角度補正を行う。この後、角度補正の精度確認のプロセスにおいても撮像手段を移動させずに画像データを取得し、この画像データの範囲内で左側又は右側のターゲットパターン位置の検出を行い、このターゲットパターン位置が計算で求めた角度補正後の位置に移動したかを確認し、精密アライメントを終了する。

顕微鏡を用いた3次元画像認識装置 特許3855244
【課題】 対象物の3次元的な特徴を定量認識することができる顕微鏡を用いた3次元画像認識装置を提供する。
【解決手段】 XYステージ上に固定された検査対象物を左右2方向から顕微鏡を介してCCDカメラによって撮像し、左右の画像データを取り込み、対象物の所定位置が左右の画像データ上のどの位置に投影されるかを検出する。そして、この投影された位置から対象物の前記所定位置の3次元座標を算出する。尚、測定を行う前に、顕微鏡光学系の幾何学的な位置を精度良く標定する必要があるが、本発明では、理想平面の対象物に精度良く寸法が設定されている格子縞を投影してこの格子縞をそれぞれのCCDカメラで撮像し、この格子点の画像上の位置を測定する。そして、このこの格子点の画像上の位置と、対象物上の格子点の3次元座標とから標定要素を決定する。

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